温度、压力、流量是工业中3大检测参数，其中，流量检测有很长的历史。

MEMS代表微机电系统。这些是一组设备，这些设备的特性可以通过其微小的尺寸和设计模式来实现。这些传感器的设计可以使用1-100微米的组件来完成。在集成微电子设备的控制下，这些设备可以从小型结构到非常困难的机电系统，其移动部件很多，而移动部件可能有所不同。通常，这些传感器在一个封装中包括机械微致动器，微结构，微电子学和微传感器。本文讨论什么是MEMS传感器，其工作原理，优点及其应用。

在电子和电气设备中，传感器用来获取外界原始的物理信号，包括声音、图像、温度、湿度、压力和光信号等，并将这些物理信号转换为电信号，典型形式为电压/电流。传统的物理和化学传感器只是获取外界信号，并不具备计算和处理能力。随着制造工艺技术、尺寸和成本需求的提高，基于微机电系统（MEMS）工艺的MEMS传感器越来越流行。​

现任甘肃省科学院传感技术研究所副所长的宋玉哲，毕业时正值该院传感技术研究所的转型期和瓶颈期，急需能够从事敏感材料的制备及其传感性能研究方面的专业人才。

传感器发展到今天，小型化、智能化、集成化，已经是升级换代的必由之路。今天，我们来为大家介绍一下传感器家族的mini型产品——­­MEMS传感器。

微纳制造技术作为MEMS传感器的实现手段，它直接决定了传感器的性能与制作成本，是传感器可产品化和批量化制造的前提。随着MEMS微纳制造技术的不断进步，MEMS传感器在航空航天、生化医疗、食品安全等领域得到广泛的应用，特别是近几年来伴随着汽车电子产品和物联网的快速发展，市场对不同类型和功能的MEMS传感器需求量越来越大。